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폰테크 사이트 ‘반도체 공정 핵심’ EUV 장비, 국내 도입 최대 25일 빨라진다

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작성자 행복이 댓글 0건 조회 0회 작성일 26-06-07 16:04

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폰테크 사이트 극자외선(EUV)을 이용해 웨이퍼에 초미세 회로를 그리는 EUV 노광 장비는 첨단 반도체 제조의 핵심 장비로 불린다. 네덜란드 기업 ASML에서 독점 생산하는 장비로, EUV 노광 장비를 공급받기 위해 수많은 반도체 기업들이 대기하기도 해 ASML을 ‘슈퍼 을’ 기업으로 부르기도 한다. 정부가 EUV 노광 장비 국내 도입 절차를 대폭 간소화하기로 했다. 도입 때 검사 등에 걸리는 기간이 기존 34일에서 9일로 최대 25일 단축될 전망이다.
산업통상부는 2일 열린 국무회의에서 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조 장비에 대해 고압가스 일반 제조시설이 아닌 ‘특정설비’ 기준을 적용하도록 하는 것을 주요 내용으로 하는‘고압가스 안전관리법 시행령’ 일부 개정안이 의결됐다고 밝혔다.
그동안 반도체 공정에 필수적인 EUV 장비는 내부에 고압가스 배관·장치가 포함돼 현행 법령상 ‘고압가스 제조설비’로 분류됐다. 이에 따라 EUV 장비를 설치할 때마다 기술 검토·검사를 받아야 했고, 이 과정에서 장비 도입이 지연되고 기업 부담이 발생한다는 현장의 불만이 적지 않았다.
산업부는 제도 개선을 위해 반도체 업계와 여러 차례 협의를 거쳐 의견을 수렴하고, 글로벌 안전 기준과 국내 안전 관리 체계 간 정합성을 검토해 EUV 장비를 기존 ‘고압가스 제조시설’에서 ‘특정설비’로 관리하는 개정안을 마련했다.
이번 제도 개선으로 EUV 장비 도입 기간은 장비당 최대 25일 단축되고, 해외 공인검사기관 내압·기밀 검사비용도 장비당 약 5억원 절감될 것으로 산업부는 예상했다.
이날 산업부는 고압가스 안전관리법 시행규칙 개정도 함께 추진했다. 물과 세탁 세제 대신 이산화탄소를 사용해 세탁하는 친환경 ‘액화 이산화탄소 세정설비’가 국내 최초 상용화될 수 있도록 맞춤형 검사기준을 신설하는 등 규제를 합리화했다. 또 ‘위험성이 낮은 고압가스시설’의 안전관리자 선임기준을 현실에 맞게 정비하는 내용도 포함했다.
이날 국무회의를 통과한 개정안은 다음주 공포 후 즉시 시행된다. 김정관 산업부 장관은 “이번 법령 개정은 안전 확보와 첨단산업 경쟁력 강화를 동시에 달성하기 위한 대표적인 규제혁신 사례”라며 “앞으로도 글로벌 기준에 부합하는 합리적 안전관리 체계를 통해 첨단산업 투자를 적극적으로 지원해 나가겠다”고 밝혔다.
휴전 협정을 깨고 격렬한 교전을 이어온 레바논과 이스라엘이 3일(현지시간) 미국 중재 아래 추가 휴전에 합의했다. 미·이란이 막판 종전 협상 중인 가운데 일단 ‘급한 불’은 끈 셈이지만, 이란이 미군의 유조선 공격 등을 이유로 쿠웨이트에 보복을 가하는 등 긴장을 늦추긴 어려운 상황이다.
AFP통신 등에 따르면, 레바논과 이스라엘은 미국 주도로 워싱턴에서 열린 협상 끝에 휴전을 이행하기로 합의했다. 양국이 발표한 공동 성명에는 이번 휴전이 레바논의 친이란 무장 정파 헤즈볼라의 대이스라엘 공격 완전 중단을 전제로 한다는 내용이 담겼다.
양국은 ‘보안 구역’ 설치에도 합의했다. 레바논군은 이 구역에 헤즈볼라의 진입을 금지한 채 독점적으로 통제하겠다고 약속했다. 다만 보안 구역의 구체적인 설치 시한이나 남부 레바논 지역을 점령한 이스라엘군의 철수 여부 등은 명시되지 않았다. 양측은 오는 6월 넷째 주에 다시 만나 포괄적 합의에 도달하는 것을 목표로 정치·안보 협상을 진행하기로 했다. 미·이란 전쟁 발발 직후인 지난 3월2일 헤즈볼라가 이란 지원을 명분으로 이스라엘을 공격하며 시작된 양측의 충돌은 지난 4월 중순 휴전 합의에도 불구하고 이어져 왔다.
이스라엘과 레바논 간 무력 충돌은 미·이란 전쟁의 또 다른 ‘뇌관’으로 꼽혀왔다. 이란은 그간 종전 조건으로 ‘레바논을 포함한 모든 전선에서의 종전’을 내걸어왔는데, 양측의 합의가 막바지 단계에 이른 지난달 말부터 이스라엘이 레바논 남부에 지상군을 보내는 등 공격 수위를 높이며 긴장이 고조된 상황이었다.
양국의 휴전 합의 발표 이후 백악관에서 기자들과 만난 트럼프 대통령은 이란과 종전 협상이 “아주 잘 진행되고 있다. 이번 주말 중에라도 합의가 이뤄질 수 있다”며 자신감을 드러냈다. 같은 날 공개된 뉴욕포스트의 팟캐스트 ‘팟 포스 원’에서는 이란의 최고지도자 모즈타바 하메네이가 현재 협상에 관여하고 있다며 “언젠가 그를 만나고 싶다”는 뜻을 밝히기도 했다.
하지만 크고 작은 무력 충돌은 계속되고 있다. 레바논 국영 NNA통신은 양국의 휴전 합의 발표 후인 4일 오전 레바논 남부 나바티예에서 이스라엘 무인기(드론) 공격이 발생해 최소 한 명의 사상자를 냈다고 보도했다. 쿠웨이트와 바레인도 전날 잇따라 무인기(드론) 공격을 받았다. 쿠웨이트 국방부는 “쿠웨이트 국제공항이 이란의 드론 공격을 받았다”며 배후로 이란을 지목했다. 바레인 군 당국도 이란에서 날아온 미사일 3기와 드론 여러 기를 격추했다며 “이란이 민간 시설을 노린 체계적 적대 행위를 이어가고 있으며 이는 국제인도법에 명백히 위반된다”고 비판했다.
이란은 공습을 정당화했다. 최고지도자 모즈타바의 군사고문 모흐센 레자이는 SNS에 “모든 총격과 공격에 대한 대응은 미사일과 드론 세례”라며 “역사는 되돌릴 수 없고 침략자는 곧 처벌될 것”이라 적었다. 아바스 아라그치 외무장관도 “우리 군은 미국이 민간 선박 공격과 휴전 위반에 활용한 지역을 대상으로 자위권 차원의 공격을 수행하고 있다”는 주장을 SNS를 통해 펼쳤다. 지난 1일과 2일 미군이 각각 게슘섬의 통신 시설과 이란 유조선을 공격한 데 대한 대응이라는 취지로 풀이된다.
한편 트럼프 대통령과 네타냐후 총리는 최근 불거진 불화설을 진화하고 나섰다. 트럼프 대통령은 이날 백악관에서 취재진에게 관련 질문을 받고 “네타냐후 총리는 다른 사람에겐 아닐 수 있지만 나에게는 훌륭한 파트너”라고 평가했다. 뉴욕포스트 팟캐스트에서도 “화가 났다고는 하지 않겠다. 다만 그가 레바논과 끊임없이 싸우는 것에 약간 당황했다”고 언급했다.
네타냐후 총리 역시 이날 미 CNBC방송 인터뷰에서 “전술적 견해차는 있지만 주요 사안에 대해 우리 의견은 일치한다”며 갈등설을 일축했다. 앞서 미 온라인 매체 액시오스는 지난 1일 트럼프 대통령이 이스라엘의 레바논 공격을 두고 네타냐후 총리에게 “당신은 미쳤다. 나 아니었으면 감옥에 갔을 것”이라며 욕설 섞인 질책을 했다고 보도했다.

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